[korean] FTO 투명 전도성 유리용 텅스텐 산화물 박막

텅스텐 산화물 박막은 건축용 유리에 적용하여 전기변색 스마트 유리를 얻을 수 있는 기능성 필름입니다. 일부 전문가는 기판 온도의 차이가 산화텅스텐 필름의 구조와 성능에 미치는 영향을 연구하기 위해 금속 텅스텐(순도 99.9%)을 타깃 소재로 사용하고 코팅 장비를 사용하여 펄스 DC 전원 공급 장치를 통해 FTO 투명 전도성 유리 기판에 WO3 필름을 스퍼터링 증착했습니다. 구체적인 단계는 다음과 같습니다.

자세한 내용은 다음 웹사이트를 방문하세요.

http://tungsten-oxide.com/korean/index.html

스퍼터링 전, 코팅 챔버의 배경 진공은 4.5×10-4Pa 미만으로 배출되었습니다. 고순도 아르곤(99.9% Ar)을 작동 가스로 사용하였고, 고순도 산소(99.9% O2)를 반응 가스로 사용했습니다. 작동 압력은 1.7Pa로 고정하였고, Ar 유량은 15sccm, O2 유량은 13sccm이었다. 기판 온도를 실온, 200℃, 300℃, 350℃로 변화시켜 기판 온도가 다른 텅스텐 산화막을 증착하였으며, 막 두께는 250±10nm로 제어하였다.

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