スマートウィンドウにおける酸化タングステン薄膜の使用

酸化タングステンフィルムは良好なエレクトロクロミック性能を持っているため、スマート窓の生産に使用でき、通常は省エネ建築に使用され、高断熱、高保温、省エネ・環境保護の目的を実現する。また、このスマート断熱窓は眩暈や紫外線を防ぐこともできます。では、三酸化タングステン薄膜を製造する方法を知っていますか。WO3薄膜は化学蒸着（CVD）法により作製できることが報告されている。

詳細については、

http://tungsten-oxide.com/japanese/index.html

化学蒸着にはプラズマ増強CVD法と気相熱分解法が含まれる。反応源は通常、ヘキサカルボニルタングステン（W（CO）6）またはWF6である。この方法は堆積速度が速く、堆積成分を調整することができる。一部の専門家はタングステンフィラメントを加熱抵抗と蒸発源として使用し、シリコンウェハ基板上にWO3薄膜を堆積し、ナノ構造アレイを形成する。この方法を熱線CVD法と呼ぶ。

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