スマート窓に応用される三酸化タングステン薄膜

三酸化タングステン薄膜は常にスマート窓の組み立てに用いられ、これは新型の省エネ窓であり、高い断熱、省エネ、環境保護の利点を有する。これは、WO3エレクトロクロミック薄膜は、Ni、Mo、Nb、Irなどの酸化物よりも優れたエレクトロクロミック効果を有するためである。そのため、WO3粉末とWO3薄膜が最も注目されている。では、WO3エレクトロクロミック薄膜はどのようにして製造されるのでしょうか。三酸化タングステンエレクトロクロミック薄膜は陽極酸化法により作製できることが報告されている。

詳細については、

http://tungsten-oxide.com/japanese/index.html

陽極酸化法は通常、金属タングステンに基づいて、酸性溶液（例えばH2SO4、H3PO4、HNO3、HCIO4など）または中性溶液（例えばNaF）において、一定の陽極電位（通常120V未満）でタングステンの酸化を実現する。陽極酸化法により作製したWO3膜は比較的緩い構造を有していた。表面には隙間がたくさんある。そのため、イオン注入容量が大きい。

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