酸化タングステン薄膜は、建築用ガラスに適用してエレクトロクロミックスマートガラスを得ることができる機能性フィルムです。異なる基板温度が酸化タングステン膜の構造と性能に与える影響を研究するために、一部の専門家は金属タングステン（純度99.9％）をターゲット材料として使用し、コーティング装置を使用してパルスDC電源を介してFTO透明導電性ガラス基板上にWO3膜をスパッタ堆積しました。具体的な手順は以下のとおりです。

WO3フィルムはエレクトロクロミックフィルムです。膜厚が構造とエレクトロクロミック性能に与える影響を研究するために、一部の専門家は純度99.95％の金属タングステンをターゲット材料として使用し、パルスDC電源反応性マグネトロンスパッタリングによるコーティング装置を使用して、FTO透明導電性ガラス（平方抵抗〜20Ω）基板上に三酸化タングステン膜を堆積したと報告されています。

WO3 필름은 전기변색 필름입니다. 필름 두께가 구조 및 전기변색 성능에 미치는 영향을 연구하기 위해 일부 전문가들은 순도 99.95%의 금속 텅스텐을 타겟 물질로 사용하고 펄스 DC 전원 공급 반응성 마그네트론 스퍼터링을 통해 코팅 장비를 사용하여 FTO 투명 전도성 유리(사각형 저항 ~20Ω) 기판에 텅스텐 삼산화 필름을 증착했다고 보고되었습니다.

리튬이 도핑된 WO3 박막은 기능성 소재이며, 더 구체적으로는 무기 전기변색 소재입니다. 일부 전문가는 졸-겔 방법을 사용하여 리튬 도핑된 텅스텐 삼산화물 필름을 제조했는데, 이때 LiCF3SO3 용액을 전구체 용액에 첨가했습니다. 전문가들은 다음과 같은 사실을 발견했습니다.