二氧化钛、三氧化钨等典型半导体金属氧化物，具有廉价易得、无毒无害、生物和化学性质稳定、抗光腐蚀等优点，成为研究和应用最为广泛的金属氧化物。

导电薄膜电极是有机电致发光器件（OLED）的基础构件，其性能的优劣直接影响着整个器件的发光效率。其中，透明导电薄膜是把光学透明性能与导电性能复合在一体的光电材料，由于其具有优异的光电特性，可广泛应用于太阳能电池，LED，TFT，LCD及触摸屏等屏幕显示领域。

太阳能控制玻璃就是透过高百分数入射光和较低百分数的总入射辐射能量(总太阳能热量)的玻璃。生产这种玻璃的一种方法是在玻璃上沉积包含一层或数层各种材料的涂层，特别是金属氧化物，例如氧化钨，所述的层通常具有亚微米范围内的厚度。

乙醇气敏传感器可于酒驾检查或工业生产中的乙醇含量的检测，避免交通事故或生产安全事故的发生，具有重要的实用价值。近年来，具有乙醇传感特性的氧化钨受到了研发人员的关注。