ウエハプローブカード用タングステン針
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- カテゴリ: タングステン知識
- 2021年11月17日(水曜)14:17に公開
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タングステン針はウエハプローブカードの重要な部分であるので、このプローブカードにタングステンプローブとしても知られている。専門家によれば、ウェハテスト用の主要なツールとしてプローブカードは、通常、回路基板上の試験回路基板および95~105度で曲げられた円錐状のタングステンニードルで構成される。テスト中に、タングステンプローブの先端を被検査ウェハのパッドに直接接触させ、ウエハのダイの電気的性能試験を実現する。
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テスト中、タングステンプローブの先端がウェハパッドに接触すると、プローブカードのプラットホームは上昇する標準高さを与え、ウエハパッド上にマークを残す。タングステン針はテーパーであるので,針の先端の直径は複数の試験の後,より大きく大きくなる。従来、タングステンプローブがウェハパッド上に貼り付けられている場合には、接触面積がウェハパッドの1/4を超えてはならない。
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