湿敏元件用氧空位氧化钨

氧空位氧化钨，其实就是缺陷态氧化钨（WO3-x），其因晶体结构独特，而具有极为出色的物理化学性质，如气敏性、湿敏性、光电学性能等。经过这几年的不懈努力，科学家终于发现能有效提高湿敏元件的灵敏度和测量精度的方法，即使用WO3-x半导体材料来作为感湿材料。

湿敏元件是一种检测空气湿度的电子组件，其核心湿敏材料对水分子具有较强的吸附能力。

水是一种强极性电介质，因有很大的电子亲和力，使得水分子容易吸附在固体表面并渗透到固体内部。利用水分子这一特性制成的湿敏元件可称为水分子亲和力型湿敏元件；而把与水分子亲和力无关的湿敏元件或传感器称为非水分子亲和力型湿敏元件，像热敏电阻式湿敏元件和微波湿敏元件等就属于此类。非水分子亲和力型湿敏元件，一般不会有滞后现象，不会受风、油、灰尘的影响，具有灵敏度高、响应速度快的优点，适合应用于绝对湿度表、相对湿度表、水分计和露点计等许多方面。

根据组成材料的不同，水分子亲和力型湿敏元件又可以分为很多种，如碳膜及硒膜组件、金属氧化物陶瓷组件、金属氧化物膜组件、高分子材料组件、电解质组件、水晶振子组件等。

据悉，氧空位氧化钨薄膜有望成为新一代金属氧化物膜湿敏元件的重要功能性材料，能显著升高产品的质量，使之能更符合未来的发展趋势。

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