多功能传感器用WO3薄膜

WO3薄膜是一种过渡金属氧化物半导体材料，其因对某些还原性气体（如O3、NO2、NO、NH3、H2S）有较好的敏感特性，而常用来制取高质量多功能传感器。此外，氧化钨对湿度也存在一定的敏感特性，所以更适合应用于新一代的传感器中。

多功能传感器（multifunctional transducer）一般是指用一个传感器能同时感受两种或两种以上的被测量，并转换成可以接收和处理的信号的装置，其广泛应用于工业生产、航空航天等领域。

气体传感器在多功能方面的进步最具有代表性，其正常能用来检测H2S、C8H18、C10H20O、NH3等气体。作为气体传感器中较为重要的零部件之一，敏感材料主要有ZnO、SnO2、WO3、WO3（Pt）、SnO2（Pd）、ZnO（Pt），它们对以上的四种气体均会有响应，但响应的灵敏度却有很大差别，根据其从不同敏感部分的输出差异即可测出被测气体的浓度。下面，我们一起来了解一下这些敏感材料的基本信息。

氧化锌对外界环境（如温度、光、湿气等）十分敏感，外界环境的微小改变会迅速引起其表面或表面离子价态和电子运动的变化，从而立即引起其电阻的显著变化。

氧化锡是一种无机物，其在低温条件下不但对乙醇很敏感，对CO和H2也很敏感，因此仅通过改变传感器工作温度所能达到的气敏选择性是有限的。

三氧化钨是钨中物理化学性能较为稳定的一种氧化物，其因晶体结构特殊，而具有显著的表面效应、良好的气敏性以及优异的电致变色等特点，适合作为下一代的传感器核心材料。

• < 上页
• 下页 >