产值新增4000万！稀土靶材降低对国外依赖

近期，包头稀土研究院“真空蒸馏法制备高纯稀土金属镱及靶材关键技术研究”项目（简称“稀土靶材项目”）荣获内蒙古自治区科学技术进步奖三等奖。这就意味着我国在高纯稀土金属材料方向的国际地位能得到提升，同时高性能电子器件也能摆脱对美、日、韩等国家的依赖。

稀土靶材，又称镀膜靶材，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，幷使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，幷且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜。其因有良好的物理化学性质，而广泛应用于新能源汽车、集成电路、新型显示器、5G通讯等高科技产业中。

由于受生产技术不成熟的限制，过去我国的稀土靶材大多数从国外进口，这对国产电子装备的生产极为不利，即不但增加了生产成本，而且靶材供应还受到限制。为了解决这个问题，包头稀土研究院研究者开发了高纯度稀土金属镱靶材及型材制备技术的项目，突破了高纯度金属镱蒸发材料的低成本、高效率、高品质制备工艺技术。

据中钨智造了解，优化稀土冶炼高真空低氧蒸馏工艺，采用自行设计的冷却接收系统和过滤系统，阻隔辐射热的同时，净化了蒸馏的金属镱。通过核心工艺的控制，一次蒸馏就可以获得纯度大于99.99%的高纯度金属镱，稀土直收率最高可达98%。

稀土靶材项目于2017年底，依托包头稀土研究院稀土材料中试基地平台，经过多年中试级别的产品制造技术升级、设备智能化改造、生产流程质量管控及应用领域的拓展，建成一条国际领先的有机发光材料用高纯度金属镱靶材产品生产线。项目成果转化至今，靶材产品复合年销售量增长10%左右，从2018年开始，3年新增利润1000万元以上，新增产值突破4000万元。

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