Ti掺杂黄色氧化钨薄膜

Ti掺杂黄色氧化钨薄膜同WO3膜一样,都具有电致变色性能。专家表示,目前,对掺Ti黄钨薄膜电致变色性能的研究多集中在化学方法制备上,如溶胶凝胶法、水热法等,对反应磁控溅射法制备的研究报道较少。

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他们还介绍到,相对于化学方法,使用磁控溅射法制备掺杂Ti元素黄钨薄膜,在提高薄膜电致变色综合性能的同时,可以在大面积基片上获得厚度均匀的薄膜,易于实现大面积规模化生产。然而,实际上,目前对Ti掺杂后影响WO3性能的机理研究并不充分,需要再进行研究才能深入了解。

 

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