80毫米EFG圆顶蓝宝石毛坯产生高品质低成本的单晶圆顶

密切注意在生长过程中的晶体的热环境的晶体生长参数和特性,导致改善的EFG生长的圆顶坯的晶体结构。这些近蓝宝石毛坯净成形80毫米蓝宝石毛坯已经制造生产出高品质的成品圆顶。热膨胀系数(CTE) ,导热系数,光学散射,雨水冲刷和折射率(DN/DT )的热膨胀系数作为波长的函数的新的测量已经完成和数据列。

压力和不断增长的薄壁,多边形管的变形动态三维有限元模拟。作为一个例子,八角硅管由边缘限定薄膜供给生长(EFG )方法的生长选择。在用厚管中的几100μm量级生长过程中不断增加的应变能由壁的挠度以规则间隔周期性地减小。对变形行为的各种温度分布的影响进行了研究。这种模式的EFG生长硅八角形的适用性是通过实验观察的方式进行讨论。


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