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分类:钨业知识
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发布于 2023年6月01日 星期四 14:05
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作者:Xiaoting
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六氟化钨(WF6)是一种无机化合物,常温常压下为无色气体,主要应用在集成电路制造领域,具体来说,在化学气相沉积工艺中,通过沉积和堆叠制成大规模集成电路中的导电膜和金属配线材料。工业上常用固定床反应器使金属钨与氟气或N3F直接反应的方法来制备WF6,在实际操作中产物易夹带钨粉,很难进行连续生产且反应器效率低。为了解决上述的不足,专利号为CN101428858A的研究者提出了一种新的生产方法,具体步骤如下:
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