与六氟化钨（WF6）一样，六氯化钨也是由过渡金属钨元素和卤族元素组成的一种无机物，均凭借着优良的物理性质和化学性质，广泛应用于高科技领域。注：氯和氟均属￿卤族元素，分为位于第二周期VII族和第三周期VII族。

与六氯化钨（WCl6）一样，六氟化钨也是由过渡金属钨元素和卤族元素组成的一种化合物，均具有良好的物理化学性质，广泛应用于化工领域。但是，二者在外观、性质、生产方法和具体用途上存在较大区别，例如，六氯化钨是一种带有蓝紫色的黑色结晶，而六氟化钨在常温常压下为淡黄色液体，其固态为易潮解的无色结晶，气态为无色。注：卤族元素是指周期表中的ⅦA族元素，包括氟、氯、溴、碘、砹等；其中氟位于第二周期VII族，比氯元素活泼，而氯位于第三周期VII族。

与六氟化钨（WF6）一样，六氟化钼也是由难熔金属元素和卤族氟元素组成的一种化合物，均可以应用于微电子工业中作互连线。钨和钼均属￿难熔金属元素，分别位于周期表中第六周期的VIB族和第五周期的VIB族。 

六氟化钨（Tungsten Hexafluoride，WF6）是由过渡金属钨元素和活泼非金属氟元素组成的一种无色气体，是用于微电子学生产过程中钨的化学蒸气沉积的一种气源，具有较大的密度、较强的腐蚀性和毒性等特点，主要应用于半导体工业的化学气相沉积工艺中，以沉积钨金属。然而，当前的生产技术却很难生产出高纯度WF6。