三氧化钨薄膜现状

薄膜材料具有光学性质、电学性质、磁学性质、化学性质、力学性质、热学性质，薄膜材料 具有多种特性因而在许多领域得到应用，例如用作电学薄膜、光学薄膜、硬质膜、耐蚀膜、润滑膜、装饰膜、包装膜等。在众多的薄膜材料中，三氧化钨薄膜具有多种特性如电致变色、气致变色、光致变色、热致变色多种性能，还具有良好的电化学性能等，三氧化钨薄膜得到了广泛应用，如灵巧变色窗、气体传感器、PH计等。在六十年代就有研究人三氧化钨薄膜材料，尤其是对其电致变色、电化学等性能的研究比较多，也取得了显著的成果。

目前越来越多的科学工作者开始关注三氧化钨薄膜的气敏性能。对于氢敏性能而言，三氧化钨薄膜具有巨大潜力，因为当掺杂三氧化钨薄膜与氢气接触时最直观的变化就是薄膜由无色变为蓝色，科学工作者们对于这种直观变化的定量测定正在研究当中。同时三氧化钨薄膜是一种具有广泛应用潜力的气敏材料，三氧化钨薄膜不仅能作为氢敏材料，掺杂不同元素后在不同的条件下还可用作其它气体如NH₄、NO₂、H₂S、O₃、O₂等的敏感材料。例如掺杂Au可以改善三氧化钨薄膜对硫化氢气体的气敏性；掺杂钯或铂可以改善三氧化钨薄膜对氢气的气敏性；掺杂银可以改善三氧化钨薄膜对二氧化硫的气敏性；掺杂金和三氧化钼可以改善三氧化钨薄膜对氨气的气敏性等。

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