电泳沉积法制备三氧化钨薄膜

三氧化钨（WO₃）薄膜可以通过适当能量的光辐照或者利用电场而呈现颜色，此称为光致变色或者电致变色，在灵巧窗、大面积显示屏及汽车反光镜等方面具有潜在应用价值而引起人们的关注。WO₃薄膜的制备方法有电泳沉积法磁控溅射法、化学气相沉积法、溶胶-凝胶法等。

电泳沉积（electrophoresis deposition）是指在稳定的悬浮液中通过直流电场的作用，胶体的粒子沉积成材料的过程称之为电泳沉积。例如对电泳涂料施加直流电压，带电荷的涂料粒子移动到阴极，并与阴极表面所产生的碱性作用形成不溶解物而沉积于工作表面。因此电泳沉积包括两个过程，其一是电泳，其二是沉积。整个电泳沉积过程分为以下四个步骤：
（1）电解：在阴极反应最初为电解反应，生成氢气及氢氧根离子 OH，此反应造成阴极面形成一高碱性边界层，当阳离子与氢氧根作用成为不溶于水的物质，涂膜沉积：
（2）电泳动: 阳离子树脂及 H+ 在电场作用下，向阴极移动，而阴离子向阳极移动过程；
（3）电沉积：在被涂工件表面，阳离子树脂与阴极表面碱性作用，中和而析出不沉积物，沉积于被涂工件上。
（4）电渗：涂料固体与工件表面上的涂膜为半透明性的，具有多数毛细孔，水被从阴极涂膜中排渗出来，在电场作用下，引起涂膜脱水，而涂膜则吸附于工件表面，完成整个电泳过程。

用双氧水（H₂O₂）溶解一定量钨粉，为防止溶液暴沸，H₂O₂分多次加入，溶解过程中不断搅拌。待完全溶解后冷却过滤，在滤溶液中加入适量浓硫酸（CH₃CH₂OH）和醋酸（CH₃COOH）以及表面性活剂，得到WO₃溶胶。电泳沉积在温室下进行，电流密度用直流稳压稳流仪器。电泳沉积法制备WO₃薄膜，即从基片为电极，通以电流在阴极可沉积WO₃薄膜，该方法通过控制沉积时间可得到所需的厚度，有操作简单、可一次成膜、透明度高、膜层均匀和基底结合牢固的优点。

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