探测钨针的接触电阻会影响到半导体制程中晶圆测试的可靠度。所以，为了提高晶圆针测的准确性，有专家提出了一种测试探测钨针的接触电阻的方法。

为了降低晶圆测试成本，晶圆探测钨针的回收利用很重要。在晶圆测试中，锥形的钨针经过多次测试后开始磨损，导致针头的直径越变越大。此时，如果不将含钨针的探测卡（晶圆测试的工具之一）换掉，会影响测试结果的准确性；而换掉，则会增加成本。对此，有研究人员提出一种对这种探针卡的钨针的处理方法。

半导体测试针用钨针可以是采用铼钨合金打造而成的合金探针，也可以是采用纯钨打造的纯钨探针。其中，铼钨合金的接触电阻比钨稍高而抗疲劳性相似。此外，铼钨合金的晶格结构比钨更加紧密，所以铼钨探针顶端的平面更加光滑。

晶圆探针用什么？晶圆探针用钨针。钨针可以用于集成电路晶圆测试的工具——探针卡的电路板上，又或者是探针台上，主要是测试晶圆上每一个晶粒的电气性能，看它们是否是依照设计规格制造出来的。