钽掺杂氧化钨可以用于制备电致变色薄膜，而钽掺杂的氧化钨电致变色薄膜可以采用磁控溅射方法制备得到，以改善氧化钨电致变色薄膜的电化学循环稳定性。

三氧化钨可以用于制备电致变色薄膜，最终以电致变色玻璃即智能窗的形式应用到建筑玻璃上，起到节能降温的作用。

结晶态三氧化钨膜可以通过磁控溅射沉积再通过热处理获得。通过磁控溅射沉积获得的是非晶态三氧化钨膜，在空气中分别加热200℃，250℃，300℃，350℃及400℃，并保温30min进行热处理。随着热处理温度的提高，非晶态三氧化钨膜的电致变色性能下降。当热处理温度高于350℃时，非晶态转变成结晶态。

氧化钼掺杂氧化钨电致变色薄膜的着色态和漂白态的颜色都比纯氧化钨薄膜深。这是因为MoO3本身是一种变色特性类似WO3的电致变色材料，其着色态呈蓝紫色，漂白态呈黄色。而纯氧化钨薄膜的着色态呈蓝色，漂白态几乎无色透明。