钨靶材的生产工艺

钨靶材也叫钨溅射靶材,由钨粉制成,已被广泛应用于X-射线管、薄膜材料、半导体集成电路、医疗和熔炼设备、稀土冶炼、航空等领域。

通过金属熔炼、粉末冶金、非金属粉末方法,运用真空熔炼、普通热压、冷压烧结等方法成型。

钨靶材的生产工艺:

通过锻造、热轧或冷轧,再经过热处理消除型材应力并使之均质化或通过高温烧结增加其致密性。

对处理过的型材进行车、铣、刨、磨等机加工过程。

清洗、烘干。

有时根据需要对某些靶材地面金属化后进行与无氧铜背板的绑定。

最后经过超声波或者X光等检测,包装。


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