工艺参数对硬质合金刀具涂层的影响（二）

详细资料: 分类：钨业知识; 发布于 2015年3月06日星期五 09:13; 点击数：1769

硬质合金刀具涂层的性能很大程度上决定于涂层的制备工艺及涂层质量，涂层质量包括：涂层密度、织构、显微结构、结构缺陷、残余应力等。镀膜工艺参数包括沉积温度、电弧电流、N2 分压、负偏压、镀膜时间、真空度等等。

3. 氮气分压
氮气作为反应气体，其分压的大小严重影响着涂层的相组成。在沉积过程中，氮气还起着维弧的作用，当炉腔内的气体压强过低，阴极弧难以维持稳定，易引起断弧现象，同时会使得膜层中的 N 比例下降，达不到理想的 TiN、TiCN、ZrN 原子配比。

4. 负偏压
偏压高时，离子轰击增强，组织致密。脉冲偏压在一定程度上减少了磨蹭的残余应力，使结合强度增大，摩擦系数减小。但是偏压过高，基体过热，涂层的硬度和结合强度等力学性能都会下降。

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