硬质合金刀具物理气相沉积技术

硬质合金作为一种工具材料，由于其具有高硬度、高强度、高弹性模量、耐磨损和耐腐蚀等性能，已广泛应用于各种切削工具、矿用工具和耐磨耐蚀零部件。硬质合金刀具表面涂层技术是应市场需求发展起来的材料表而改性技术。采用涂层技术可以有效地提高切削刀具的使用寿命，使刀具获得优良的综合力学性能，从而大幅度提高机械加工效率。而硬质合金刀具物理气相沉积技术是硬质合金刀具制造领域的一种关键技术。

硬质合金刀具物理气相沉积技术的工艺过程均可以分为三步：第一步是成膜材料的气化，即成膜材料的蒸发、升华、被溅射、分解，也就是成膜材料的源；第二步为成膜原子、分子或离子从源到基片的迁移过程，在这一过程中粒子间可能发生碰撞，产生离化、复合、反应、能量的变化和运动方向的改变等一系列复杂过程；第三步是成膜原子在基片表面的吸附、堆积、成核和长大成膜。物理气相沉积的方法主要有：真空蒸镀、溅射镀膜、离子镀膜。其中真空蒸镀在工业上应用较早，而磁控溅射离子镀和电弧离子镀是工业生产的主流镀膜技术。




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