涂层硬质合金刀具CVD技术的发展

CVD 技术自上世纪六十年代出现以来，在涂层硬质合金刀具上得到了极为广泛的应用。在CVD技术中，气相沉积所需金属源的制备相对容易，可实现TiN 、TiC 、TiCN 、TiBN 、TiB2 、Al2O3 等单层及多元多层复合涂层硬质合金刀具，其涂层与基体结合强度高，薄膜厚度可达7～9μm，CVD 涂层具有好的耐磨性。

八十年代中后期，美国85 %的硬质合金工具采用了涂层处理，其中CVD 涂层硬质合金刀具占到了99 %。

九十年代中期，CVD 涂层硬质合金刀片在涂层硬质合金刀具中仍占到了80 %以上。例如，采用CVD法TiC单涂层的WC 基硬质合金为基体的YW1/TiC ，与未涂层的WC 基硬质合金YT15 进行车削对比。TiC单涂层刀片的耐磨性远远高于YT15 。但CVD 技术也有其先天性的缺陷，一是工艺处理温度高，易造成刀具材料抗弯强度的下降；二是薄膜内部为拉应力状态，使用中易导致微裂纹的产生；三是CVD技术所排放的废气、废液会造成工业污染，对环境影响较大，与目前所提倡的绿色工业相抵触，因此九十年代中期后高温CVD 技术的发展受到了一定的制约。




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