在钨的氟化物中，六氟化钨(WF₆)是唯一稳定并被工业化生产的品种。它的主要用途是在电子工业中作为金属钨化学气相沉积(CVD)工艺的原材料，特别是用它制成的WSi₂ 可用作大规模集成电路(LSI)种的配线材料。

六氟化钨是钨和氟形成二元化合物，化学式为WF₆，在钨的氟化物中，六氟化钨(WF6)是唯一稳定并被工业化生产的品种。

钨的湿法冶炼主要分为离子交换工艺、萃取工艺、经典工艺和酸法工艺。其中主流工艺 为离子交换工艺、萃取工艺，这两种工艺都需要把钨从钨酸钠体系转化为钨酸铵体系，才能 通过煅烧成氧化钨后，通氢气还原获得所需的钨粉。但该方法工艺流程复杂，需要大量用水，导致废水排放量大、并且盐酸消耗量大，易造成环境污染的问题。