薄膜厚度对氧化锌薄膜沉积在蓝宝石衬底上用PLD的结构和光学特性变化的影响

详细资料: 分类：蓝宝石长晶炉-钨制品新闻; 发布于 2014年1月13日星期一 15:02; 点击数：2670

氧化锌薄膜沉积在蓝宝石基板上以利用脉冲激光沉积（PLD）法，以调查了薄膜的结构和光学性质的各种厚度。沉积条件对紫外线发射性能进行了优化。结构和光学性能进行了表征与X射线衍射和光致发光（PL）。在氧化锌膜的厚度导致的结构和光学性质的改善所致。这种增强可能是由于应变在由膜厚度的增加，氧化锌膜和蓝宝石衬底之间的界面下降。

氮掺杂的氧化锌层生长在蓝宝石衬底上通过自由基源分子束外延通过经由射频自由基源同时引入氧气和氮气。反射高能电子衍射和X射线衍射测量结果表明，高氮气/氧气流量比诱导生长双胞胎到氧化锌层。用10％的氮气/氧气的流量比被发现有1×1019厘米^-3的化学氮浓度的氮掺杂氧化锌制成。然而，尽管大的氮结合，观察到诱导延长的缺陷从n型的类型转换为p型的并没有出现。

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