一种高温下不变形钨加热子装置的优点

使用高温下不变形的钨加热子装置具有以下显著效果:

1.加热钨丝在高温的情况下不会产生变形或者扭曲。即便是连续几十小时或者是间断累加几百个小时的运作,都仍然能保持原来的形状,这样就能最大限度地延长钨丝的使用寿命。不仅节约成本和时间,还确保了一系列比较实验中实验条件的同一性。
2.加热钨丝所覆盖的衬底表面的温度能基本保持均匀状态,促使气体分解的高温钨丝面积增大,能够使气体得到更充分的分解,提高气体分解率。膜的质量和生长速率也相应得到提高。金刚石膜CVD生长实验中,成核和生长都能保持均匀,且较高甲烷浓度(约2%)下仍然能保持较高的膜质量。这是因为钨丝绕制方式改变后,气体分解率提高了,衬底表面温度变得均匀了,非晶成份被原子态氢刻蚀得更加充分。
3.加热钨丝中的电流比同样长度的螺线管状钨丝中的电流有所增大,但是不至于超过原有的变压器和引线的额定电流值,所以不用更换新的大电流变压器,也不会受到反应室腔体大小的影响,能更加发挥出该型系统在成膜的基础性研究上,抽气、充气、升温和降温速度快,功耗和气耗小,成本低的优点,为CVD制膜的工业应用做好了小试的基础。

该装置可适用于金刚石膜,立方碳化硼膜和非晶硅膜的制备和生长的基础性研究。

钨加热子装置

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