一种高温下不变形的钨加热子装置的使用原因

钨加热子装置一种高温下不变形的钨加热子装置的组成部分包括石英管腔体9,钨丝加热部分和样品台10,其中钨丝加热部分由扁平螺旋管状的加热钨丝1、紧固钨丝2、悬挂钨丝3、氮化硼陶瓷杆4、固定用陶瓷5、和铜电极8组成。

热丝CVD系统中,化学反应的能量是靠钨丝发热提供的,衬底也是靠钨丝的热辐射而加热到一定的生长温度的,衬底表面的温度均匀性会因钨丝的形状而不同,而膜成核和生长的均匀性的一个非常重要的影响因素就是衬底表面温度的均匀性。在一般的实验室CVD小型和中型系统中,钨丝都是绕成螺线管状的钨加热子。这种绕法相对简单,每一匝都是相同的外径。但是采用螺线管状的钨丝加热子,衬底表面的温度分布没办法达到均匀的效果,以螺线管轴线的衬底表面的竖直投影线作为基准线,衬底表面离该线越远的点温度就越低,而且螺线管本身中间的温度会比两端高,这也是造成衬底表面温度分布不均的原因之一。螺线管状的钨丝加热子不但会导致衬底表面温度的不均匀,而且在CVD生长过程中,钨丝在高温下通常会发生变形,中间的高温部分弯曲下垂,导致衬底表面温度分布的均匀度更低,最终致使无法继续进行CVD生长过程,必须更换钨丝后才能继续操作。这样一来,就会对试验效果造成一定的影响。因为新的钨丝在各方面条件下都不可能和原钨丝完全一致,这必定会影响到比较性试验结果的可靠性。

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