锌极性的氧化锌外延膜由蓝宝石衬底的氮化控制生长

详细资料: 分类：蓝宝石长晶炉-钨制品新闻; 发布于 2014年1月17日星期五 13:49; 点击数：2581

表面氮化用于消除氧-极性反向域和由RF-等离子辅助分子束外延控制单域的锌极性的氧化锌膜的生长在蓝宝石衬底上。结果发现，在氮化温度是实现质量氮化铝缓冲层和氧化锌薄膜与阳离子极性至关重要的，这表现在易地透射电子显微镜。在最佳生长条件下， 4×4的表面重建观察到，这是确认，是锌极性膜的特性的表面结构，并且可以被用作指纹以优化的氧化锌生长。

被发现的1.2微米厚的氮化镓薄膜的性能，以通过暴露在蓝宝石基板与氨的氮化镓生长开始前的时间被显著影响。蓝宝石的不同氮化方案强烈影响氮化镓薄膜导致的降低的位错密度为2 ×1010 〜4 ×108厘米2为较短的NH3预流倍的位错结构。这些膜的室温和低温的电子传输特性是特别受位错结构。一个300 K时电子迁移率高达592平方厘米/ V S ，得到很短的氨预流，而长氮化导致流动性下降到149平方厘米/ V S 。此外，光致发光品质恶化为具有长蓝宝石氮化时间的样品。

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