六氟化钨的用途

六氟化钨（WF₆）是钨的氟化物中唯一能稳定并被工业化生产的品种。它主要用于钨的化学蒸镀，该反应的化学方程式为：WF₆+3H₂→W+6HF。该还原反应中六氟化钨在高温下可被氢气或者其他还原性气体（如GeH₄、SiH₂F₂和二乙基硅烷等）还原为金属钨和HF，其中六氟化钨作为原材料广泛应用于电子工业中金属钨化学气相沉积（CVD）工艺技术的基础。比如用WF₆制成的WSi₂可用作大规模集成电路（LSI）中的配线材料。且通过混合金属的CVD工艺制得钨和铼的复合涂层可以用于X射线的发射电极和太阳能吸收器的制造。此外WF6在电子行业中还主要用作半导体电极和导电浆糊等原材料。
除了在电子工业上的应用，六氟化钨在非电子方面的应用也十分广泛，通过CVD技术使钨在钢的表面生成坚硬的碳化钨可以改善钢的表面性能。另外，六氟化钨还广泛用于氟化剂、聚合催化剂及光学材料的原料，用于制造低电阻、高熔点的互连线、某些钨制部件如钨管、钳锅。

 

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