促进铜包覆钨酸锆复合粉体的预处理方法

详细资料: 分类：钨专利技术; 发布于 2013年8月01日星期四 16:09; 点击数：3995

本发明提供一种促进铜包覆钨酸锆复合粉体的预处理方法。具体步骤如下：

１）粗化：称取ＺｒＷ2Ｏ8粉体，用浓硝酸磁力搅拌同时加热约３０～６０ｍｉｎ，清洗干燥；

２）一步敏化活化：对粗化后的粉体预处理，按每１００ｍｌ敏化活化液处理１０ｇＺｒＷ2Ｏ8粉体，敏化活化３０～５０ｍｉｎ后清洗干燥，每升敏化活化液的配制如下：０．３ｇ～０．４ｇＰｄＣｌ2；６０ｍｌＨＣｌ；３０～４０ｇＳｎＣｌ2；１４０ｇ～１６０ｇＮａＣｌ；

３）制备镀液：按每升计，镀液组成如下：主盐硫酸铜（ＣｕＳＯ4.５Ｈ2Ｏ）１５～４２ｇ；还原剂甲醛（ＨＣＨＯ）１２～４０ｍｌ；络合剂ＥＤＴＡ－２Ｎａ４４～６６ｇ；稳定剂亚铁氰化钾２０ｍｇ；２－２’联吡啶２０ｍｇ；促溶解剂甲醇（ＣＨ3ＯＨ）１００ｍｌ；用氢氧化钠（ＮａＯＨ）调整到镀液至ＰＨ值为１２～１３；

４）称取２．５～１０ｇ／Ｌ的敏化活化过的ＺｒＷ2Ｏ8粉体添加到镀液中，经超声处理３０～４５ｍｉｎ，ＺｒＷ2Ｏ8粉体表面就会镀覆一层铜。

本发明提供的方法，其工艺简单合理，包覆效果好，可以用作超大规模集成电路及电子器件基片材料。

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