镀铝用钨加热子——大面积膜层

一般真空蒸发的速率，均匀性，膜层厚度和真空蒸发和钨加热子的形状，尺寸都有很大的关系。蒸发源与工件的距离由蒸镀时真空的程度和所需要蒸发膜的厚度等其他因素决定。当蒸发距离为6.5厘米的时候，由于蒸镀距离比较近，膜层会不均匀，并且每次只能镀一个荧光屏，工作效率不够高，且不能满足大面积屏的要求。一般在研究工作中都要求荧光屏的数量要足够多，且黑铝又要求其均匀度要达到标准。所以要把原来的6.5厘米的蒸发距离加大到28厘米，这样蒸发面积的直径就能达到26.5厘米，把所要蒸发的铝条增加6个点，每个点之间的距离控制在0.5厘米，每条铝丝的长度为1.8厘米，钨绞丝加热子的直径为0.7毫米，总长为15厘米。这样就能制备出大面积膜层，且均匀度达标。

黑铝可以用薄膜厚度测量仪和光学薄膜控制仪来测量和控制膜层的厚度。这两种仪器都可以用来测量薄膜的厚度，但是光学薄膜厚度控制仪测量的比较准确。厚度根据管子的试验，采用50%的透过率为最佳，这样的厚度不会影响入射电子能量，也不会影响荧光屏的分辨率。

除此之外，镀膜真空室内要保持清洁，当镀完后要用无水乙醇擦净。真空室内各零件准备下次在用。镀膜时要注意真空度是否稳定，达到所要求的真空度时并选择合适的蒸发速度，最好是快速蒸发，这样蒸镀后的膜层质量好，均匀度好且光泽好。

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