作为集成电路中重要的扩散阻挡层，钨钛（W-Ti）薄膜虽然有较高的密度和良好的化学稳定性，但因为钨钛靶材存有污染物粒子，所以薄膜欠佳。为了降低靶材的污染物，研究者提出了一种高纯钨钛靶材的新制备方法，具体步骤如下：

三氧化钨（WO₃）组成简单，在不同的温度下有不同的形貌结构，它在-40℃至740℃的温度之间可产生以下四种晶体结构：单斜晶系、三斜晶系、正交晶系和四方晶系。

三氧化钨（WO3），是钨的氧化物中最为稳定的一种，亦是从钨矿制取单质钨工业的重要中间体。因其具有良好的光致变色、电致变色及气致变色等性能，可广泛运用在军事国防、医护领域、环保节能等不同领域，如用三氧化钨制作钨丝。

作为钨基合金的一种典型代表，钨镍铜合金（W-Ni-Cu）因有良好的热学、力学、电学和化学等性能，而广泛应用于航天、航空、机械设备等领域。下面将对该合金的基本信息进行介绍。