臭氧（O₃）又称为超氧，是氧气（O₂）的同素异形体，在常温下，它是一种有特殊臭味的淡蓝色气体。臭氧具有青草的味道，吸入过量对人体健康有一定危害。由于臭氧具有非常强的氧化性，它在消毒杀菌等方面发挥良好的作用，如家用臭氧消毒柜，空气除味与杀菌等。然而，也正是臭氧的强氧化性，它也同时具有毒性和腐蚀性，会刺激和损害眼睛、呼吸系统等黏膜组织。

 

近年来随着空气污染日益受到关注，臭氧污染也逐渐为人们所知。臭氧污染具有很大的迷惑性，因为它往往在风和日丽天空晴朗时发生，人们置身于其中，却根本意识不到，还以为空气特好。我国对臭氧浓度上限值做了规定，具体为：一级120μg/m³；二级160μg/m³；三级200μg/m³；而当空气中的臭氧浓度超过205μg/m³时，会对人体产生严重危害。另外，臭氧污染也会造成植物叶片坏死、脱落、长漂白斑、生长受抑制，从而造成农作物减产；臭氧还会造成材料褪色、照片褪光，轮胎老化等，而引起经济损失。因而，在特定环境中，对于臭氧含量的检测是非常有必要的，对臭氧气敏传感器的研究显得尤为重要。

 

研究发现，WO₃对臭氧具有良好的气敏性能，Cantalini等通过溶胶-凝胶法、真空热蒸发和溅射沉积技术制备了WO₃薄膜气敏传感器，实验发现，该种薄膜在工作温度为200~400°C时可以检测21.4~342.4μg/m³的臭氧，具有良好的信号再现性。Bendahan等在不同氧含量（18%~65%）的环境下，采用反应磁控溅射技术制备WO₃薄膜，并发现该种气敏传感器在150°C下对臭氧有很好的响应性，并且，跟其它臭氧传感器相比，具有更短的响应-恢复时间。