掺杂三氧化钨薄膜的特性

三氧化钨薄膜掺杂不同的元素后会明显地改善其某些特性，例如提高薄膜对某种气体的灵敏度和选择性等。三氧化钨薄膜掺杂一般都是向三氧化钨溶胶中掺入金属离子或者以三氧化钨薄膜作衬底来溅射稀有金属，如钯（Pd）、铂（Pt）、金（Au）、银（Ag）、锂（Li）等。金属离子都是以其氧化物或相应的金属盐的形式加入的，其中有LiN0₃，RbCl，CsCl，Bi(N0₃)₃，AgN0₃，其余皆为金属氧化物。

掺入不同的金属离子添加剂，制成的气敏元件特性会有明显的不同。掺钯或铂后大大提高对氢气的灵敏度，掺锂后三氧化钨薄膜的电致变色性能得到很大改善尤其是加快了着色时间和褪色时间，掺杂银可以提高三氧化钨薄膜对二氧化硫气体灵敏度。制备的光纤氢气传感器使用掺杂了钯或铂的三氧化钨薄膜作氢敏元件，测试结果表明加入钯或铂可以提高薄膜对氢气的灵敏度，而且加入钯或铂可以缩短响应时间，尤其是掺铂响应更快速。

在三氧化钨薄膜中掺杂了1.0%的Ag，有效地提高了在450℃下对二氧化硫（SO₂）的灵敏度和选择性。研究表明，掺杂15% Li的三氧化钨薄膜，该掺杂薄膜的电致变色机理与未掺杂的三氧化钨薄膜相同，但未掺杂的薄膜着色和褪色时间都要长一些。在三氧化钨薄膜中掺杂了Au和三氧化钼以提高三氧化钨薄膜对氨气（NH₃）的选择性。