醇盐法制备三氧化钨薄膜

三氧化钨薄膜材料具有光学性质、电学性质、磁学性质、化学性质、力学性质、热学性质；此薄膜材料具有多种特性因而在许多领域得到应用，例如用作电学薄膜、光学薄膜、硬质膜、耐蚀膜、润滑膜、装饰膜、包装膜等。在众多的薄膜材料中，三氧化钨薄膜具有良好的电化学性能等，因此得到了广泛应用，如灵巧变色窗、气体传感器、pH计等。在六十年代就有研究人三氧化钨薄膜材料，尤其是对其电致变色、电化学等性能的研究比较多，也取得了显著的成果。

制备步骤：
1. 在干燥的N2气氛中，把基地W加到醇盐溶液中，用电动浸涂设备提拉出基底；
2. 在干燥的氮气气氛中干燥涂层，去除过量的有机溶剂，过程约须30min；
3. 在相对湿度为30%的气氛中，水解涂层，使W-OR（有机材料）转变为W-OH和R-OH（最终被蒸发），为了保证涂膜充分水解形成凝胶，此过程需要1h；
4.对薄膜进行热处理，此过程包括两个热处理过程：第一步，加热至200℃，保留30min，使残余的有机溶剂和水分挥发掉；第二步，加热到430℃或更高的温度，使凝胶干燥，去除残留的有机溶剂，使W(OH)转变为WO₃和H₂O，从而形成三氧化钨薄膜。

经研究表明，从膜密度的变化后可以发现，三氧化钨薄膜密度相对于体材料密度（7.16g/cm³）较低，在热处理前为0.57,180℃退火后为0.64，此时三氧化钨膜为六方相的微晶结构。