CVD钨管纵向裂纹的产生原因

CVD钨管纵向裂纹的产生原因主要是：钨管内壁的沉积方式和沉积工艺过程没控制好。根本原因是，钨管内壁收缩产生的拉应力（冷却速度过快、气体通入量太大）导致的。由于生长晶粒界处的应力集中，所以这些部位易产生裂纹。钨管的生长柱状晶沿径向方向生长，导致裂纹迅速向晶界内扩展。

钨管内壁的沉积是通过加热外壁使沉积基体升温至沉积温度。

在沉积的冷却过程，沉积钨管内壁因氢气的不断通入而迅速降温，而其外壁的降温速度相对而言会比较缓慢。

 

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