CVD钨管---氟化物与氯化物的对比

氟化物（WF₆）CVD（化学气相沉积）与氯化物CVD的对比发现，氟化物CVD钨管的优点如下：

杂质含量低。大多数金属氟化物的沸点＞1000℃。所以，在恒温条件下（20-28℃左右），WF₆蒸发阶段，WF₆能够实现其与其他大部分伴生杂质的分离。

还原反应：WF₆ + H₂ → W + 6HF (125Kj/mol)

一个标准大气压下，该反应在300℃以上就能够实现；在600℃时，该反应的平衡常数已接近1。

因为该反应所需的反应温度较低，所以可以使用一般的加热设备（如不锈钢等），这使得加热设备的制作和实际操作方便了许多。即氟化物CVD方法制取钨管阶段的选择性相对较多。

 

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