沉积温度对钨管组织形貌和结构的影响

在不沉积温度（500℃、600℃、700℃和800℃），保持WF₆和H₂的成分配比及通入量不变的条件下，进行化学气相沉积所获得的钨管的截面金相显微组织不同。

当沉积温度较低时（500℃），沉积层的组织呈现细小柱晶状；

当沉积温度达到600℃时，经化学反应还原生成的钨原子的速度会加快。在沉积过程中，一些偶然快速生长的生长晶粒获得横向生长空间并生长，这会使得沉积层柱状晶组织粗化。

当沉积温度升高至700℃，经化学反应还原生成的钨原子的速度已经非常快，沉积生长界面上的这些钨原子开始重新形核和进一步生长。在这一过程，沉积层的组织形态会发生明显变化。重新形核过程会造成，其一，使得沉积层组织柱状晶生长方式趋于杂乱；其二，使得沉积层组织晶粒明显细化。

若是沉积温度升到800℃，重新形核过程会更加明显，此时，沉积层显微组织已经失去柱状晶的生长特征，其组织形态杂乱且晶粒大小不均匀。


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