钨靶材制作工艺

这是一种创新的钨靶材制作工艺，包括：提供钨靶材坯料；对所述钨靶材坯料表面进行机械加工；将所述机械加工后的所述钨靶材坯料放置入真空包套并抽真空；对真空包套内的钨靶材坯料进行锻造；对所述锻造后的真空包套内的钨靶材坯料进行压延；完成所述压延后，进行冷却并去除真空包套。采用本发明提供的钨靶材的制作方法，避免使用模具，避免在空气中对钨靶材坯料进行加工延展时出现裂缝和表面易氧化的问题，能够制作出内部组织结构均匀，晶粒大小符合溅射靶材要求的钨靶材，而且具有易加工、废品率低的优点，应用上述方法对大尺寸的钨靶材的制作更加需要。

 

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