硬质合金球体表面粗糙度的测量

硬质合金球应用于一些特殊领域要求其表面缺陷足够小，同时表面粗糙度不能太大。目前，通用的表面粗糙度测量仪有如下几种类型：

1. 触针式测量仪具有较长的历史，是一种标准表面粗糙度测量仪。硬质合金球体及被测素线方向曲率很小的工件一般采用尖测头测量。代表仪器为轮廓仪(Talysurf系列)，其优点在于测量结果的客观性。但轮廓仪最大的缺点是触针法本身的局限性，触针尖最小能做到2pm左右，波距小于该数值的加工痕迹触针进不去，Ra值的损失较大，且无法估算。

2. 光截式测量仪是一种利用通过狭缝的光束倾斜照射在加工表面，用显微镜从相反的方向观察其表面截面形状的表面粗糙度测量仪器。虽不能进行超精密测量，但可以应用其原理探寻新的测量方法。

3. 光波干涉式测量仪是一种非接触测量仪器，作为高精度观测微细形状的仪器而广泛使用。它与接触式测量仪相比，其缺点是受显微镜的视野所限，测量范围狭窄，操作不便。代表仪器为激光仪，其优点在于操作简便，数据直观，但该法对表面纹理中粗大加工痕迹反应不敏感，不太适合于高精度硬质合金球的表面粗糙度的测量。

4. 电容式测量仪是根据测量仪的电极和被测量面之间的电容求硬质合金球表面粗糙度的方法。其特点是以电容测头区域作为平均信息求得粗糙度。这种表面粗糙度测量仪的测量方式的最大问题是不能记录形状。




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