制备白钨矿晶态薄膜传统方法及优缺点

制备白钨矿晶态薄膜的传统方法众多，有溶胶-凝胶法、磁控溅射法、喷雾热解法、脉冲激光沉积法、化学气相沉积法、离子束溅射、分子束外延、燃烧法、微波合成法和真空蒸发等。但各种方法都有其优点和不足：

1：溅射法和真空蒸发法具有膜厚可控制且调节范围大、成膜表面光洁、平整、致密等优点，但都对真空度要求比较高，所需设备昂贵，且成膜速度较慢；

2：喷雾热解法工艺简单，易实现化学剂量的掺杂，但要求基片保持较高的温度，制备的薄膜由较大的应力，不利长期稳定工作；

3：化学气相沉积法具有化学剂量准确，能大面积成膜等优点，但初始原料难以获得；

4：溶胶-凝胶法能在较低温度下制备多组分、均匀、高纯度的超细颗粒薄膜，操作工艺较简单，设备不昂贵，易掺杂。但由于其先驱物多为有机醇盐，对环境有害，且薄膜与基体结合力较差，成本相对较高，制备时间也长。


 

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