氧化钨纳米花合成步骤

氧化钨纳米花作为一种新型氧化钨结构体，在性能上有着其独特的优势特点。而氧化钨纳米花的合成方法主要以种子种植法为主，其合成所需条件如下：

使用真空热蒸发镀膜机作为镀膜设备。其所使用的加热电极为钨舟，温度探测仪为红外温度探测仪，衬底为石英片。种子种植法制备氧化钨纳米花结构体的环境氛围是：压强5 Pa、氧气流量2.5sccm、氩气流量200sccm。

氧化钨纳米花的合成步骤如下：

（1）抽真空：打开机械泵进行抽真空流程20分钟，使腔内压强至96 Pa。

（2）通入2.5sccm的氧气和200sccm的氩气， 等待20分钟。

（3）打开热蒸发电源，以60℃/min的升温速度，把钨舟逐渐加热到800 ℃。然后保温15分钟，钨舟的表面将快速氧化为氧化钨并升华为气相。

（4）以60℃/min 的降温速度，把钨舟的温度降至室温，使样品在真空腔内冷却15 分钟直至室温，即可制成纳米花结构体。

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