六氟化钨（WF6）是一种无机化合物，常温常压下为无色气体，主要应用在集成电路制造领域，具体来说，在化学气相沉积工艺中，通过沉积和堆叠制成大规模集成电路中的导电膜和金属配线材料。工业上常用固定床反应器使金属钨与氟气或N3F直接反应的方法来制备WF6，在实际操作中产物易夹带钨粉，很难进行连续生产且反应器效率低。为了解决上述的不足，专利号为CN101428858A的研究者提出了一种新的生产方法，具体步骤如下：

三溴化钨是由钨元素和溴元素组成的一种的过渡金属卤化物，是由1个钨原子与3溴原子组成的一种无机物，是一种黑色的晶体或粉末，英文名为Tungsten Tribromide，化学式为WBr3，分子量为423.6g/mol，CAS号为15163-24-3。

溴化钨又称为钨溴化合物，是由过渡金属钨元素和非金属溴元素组成的一种无机物。根据溴原子个数的不同，它能分为很多种类，如二溴化钨、三溴化钨、四溴化钨、五溴化钨和六溴化钨，它们在物理化学性质、工艺参数和用途等方面上均存在一定区别。下面主要介绍的是四溴化钨的基本信息。

五氯化钨（WCl5）是一种极为不稳定的无机化合物，主要体现在易氧化、易还原和易水解等，因而很难制备。当前，生产WCl5的方法有：一是还原剂还原六氯化钨，二是通过氯化四氯化钨制备WCl5。但是，第一种工艺容易发生过渡还原，第二种工艺容易发生过渡氧化，所以很难制备出高纯度的WCl5。为了克服现有工艺的不足，下面主要介绍的是专利文档序号为27433806的研究者一种新的生产及纯化方法，具体步骤如下：