国外蓝宝石衬底企业现状与发展

因南韩、台湾与大陆等地区LED厂自2009年以来陆续扩充有机金属化学气相磊晶(Metal Organic Chemical Vapor 蓝宝石衬底Deposition,MOCVD)设备产能,带动全球蓝宝石晶棒需求增加,然而2009年全球蓝宝石晶棒厂扩产趋于保守,致使2010年全球蓝宝石晶棒供货不足,以2吋蓝宝石基板为例,其价格已由2009年上半的7美元持续上涨至2010年底的30美元左右,于此背景下,2010年下半起全球主要蓝宝石晶棒厂纷纷扩产。因历经全球蓝宝石晶棒供货不足现象,全球主要蓝宝石晶棒厂虽陆续扩产,然因各厂扩产脚步不一,且蓝宝石晶棒新进业者家数渐增,此将导致2011年全球蓝宝石晶棒厂商别产能占有率产生变化。

依全球蓝宝石晶棒厂商别月产能来看,美商Rubicon于2009年至2010年上半居全球龙头地位,不过,韩厂Sapphire Technology Company (STC)因扩产脚步相对较快,已于2010年第3季超越Rubicon,主因STC于南韩政府扶植计画中获资金支持,有利于2011年(含)后其加速蓝宝石晶棒扩产脚步。


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蓝宝石长晶炉的国内现状

台湾与中国厂商的蓝宝石长晶技术基本主要来自俄罗斯和乌克兰。就技术差别来看,美国Rubicon采用ES2技术,在蓝宝石生长炉2009年公司宣布成功生长出"世界上最大的蓝宝石晶体",重量高达200kg,可用以切出12吋蓝宝石基板,Rubicon宣称ES2技术产品缺陷率低于其它技术。美国Crystal Systems则采HEM热交换法,日本厂商则多以拉晶(Czochralski Method,CZ 法) 与导模法为主(Edge-defined Film-fed Growth,EFG法),俄罗斯以KY法(Kyropulos Method,又称泡生法)为主,台湾与中国厂商长晶技术主要源于俄罗斯KY法,俄罗斯长晶技术转让费低,规模化生产后成本仍具吸引力。

目前蓝宝石基板仍多以CZ法与KY法为主流,蓝宝石基板以2-4吋为主,基于成本因素与设备厂商开发进程,预估短期转至6-8吋机率仍较低。


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蓝宝石级高纯氧化铝

生产蓝宝石晶体主要消耗的原料为氧化铝粉体或碎晶。国内生产的蓝宝石很多只能用来做中低亮度的衬底,也就是蓝宝石级高纯氧化铝品质较低,如晶体泛黄、辐照后显色、裂晶、双晶、位错密度大等等,除了工艺外,原料好坏有着重要的影响。

目前国内生产高纯氧化铝的主流技术有三种:多重结晶法、醇盐水解法、直接水解法。多重结晶法具体又分为硫酸铝铵热解法和碳酸铝铵热解法。目前国内山东,上海,贵州等地的厂家,多数采取这种方法。它的缺点就是金属离子以及卤素元素难以去除,纯度可以达到4N,基本已经极限了;从纯度上说,它的缺陷挺大,一般只能用在焰熔法宝石上,要直接拿来做大尺寸蓝宝石晶体原料就很难。但如果先用焰熔法做成白宝石碎料,相当于先进行了一次结晶提纯,就可以用于生长大尺寸晶体,但仍无法满足高端要求。

醇盐水解法具体又分为异丙醇铝法和胆碱法。其中胆碱法是目前国内规模最大的4N级氧化铝生产方法。河北厂家用的是胆碱法,但其产品几乎全部都销到荧光粉行业去了,在晶体行业似乎没见到他们的踪影。大连有几个厂用的基本都是异丙醇铝法,产品纯度一般优于胆碱法,国内YAG晶体行业比较习惯于用这种方法做的料。

直接水解法就是铝跟水直接反应生成氢氧化铝,水解过程在全密闭有机内衬环境中进行,不添加任何催化剂。这种方法能做出4N及5N的氧化铝。目前国内广州金凯就是用这种生产方法。水解法的缺陷,业内人士评价是无法再次提纯,原料是什么级别,做出来的氧化铝,就是什么级别,不可能超越原料水平。但这种评价的前提是,最终产品只做到粉料为止,如果再接着把粉料加工成高密度的结晶态料块,就可以提高纯度,超越原料级别水平。


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蓝宝石晶体的坩埚

目前蓝宝石单晶炉所使用的坩埚有铱坩埚,钨坩埚,钼坩埚。从实际应用的角度来说,铱坩埚对蓝宝石的污染最钨坩埚小,但价格太昂贵,成本较高;而钨坩埚和钼坩埚相对便宜很多,但是污染相对较大。采用铱坩埚的一般铱坩埚本身就是发热体,但是采用钨、钼坩埚的较少采用坩埚本身来做发热体。乌克兰顿涅茨的Ikal-200型晶体生长炉,采用钼坩埚、钼隔热屏、钨加热体,在高温下将挥发出钼和钨原子。当然采用钨、钼坩埚本身做发热体的也不是没有(据说国内有做的很不错的),都是相对而言,工艺的选择和温场的设置都是非常关键的因素。不同的晶体生长方法,使用的坩埚也会不同,如泡生法(KY)一般使用钨坩埚,热交换法(HEM)一般使用钼坩埚,因为热交换法最后要砸锅取单晶,而钼坩埚价格最便宜。根据坩埚制造工艺,又可分为压制烧结坩埚和旋压坩埚,压制烧结坩埚质量较低,纯度、密度较低,使用寿命相对较短,价格相对便宜;旋压坩埚质量较高,纯度、密度较高,使用寿命较长,价格高。据了解,国内长晶炉一般是采用压制烧结坩埚。


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蓝宝石长晶炉工业加热电源的好处

蓝宝石长晶炉工业加热电源的好处在于以下几点蓝宝石长晶炉

1.掌控热场使蓝宝石晶体的品质更高:因炉内蓝宝石晶体在长晶和退火过程中对温度变化非常敏感,采用高精度电源调节炉体热场系统控制温度成为必然。

2.电源可靠不罢工,蓝宝石晶体成品率提高:因采用泡生法工艺,单炉晶体生产周期长,采用多闭环控制技术及军工电源可靠性生产工艺及流程,使电源的可靠性得到保障。

3.符合未来国家电网管理要求:无需滤波无功补偿装置,降低设备成本投入,采用高频开关PWM整流,在电源输入端增加移相变压器进行12脉整流技术,保证高功率因数和低谐波。

4.符合国家节能减排要求、节约用电,降低生产成本:采用移相整流技术,实现IGBT软开关,减小开关损耗,以实现高效率低能源损耗。

5.符合高可靠运行节约化生产要求:标准化程度高,可维护性好,可实现大批量标准化配套生产,维护方便。

6.符合国家安全生产企业安全用工要求:通过了人体安全检测报告,对长期工作在现场一线的工作人员:防止电磁辐射,防止高压危险,同时保持良好的接地措施。


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