六氟化钨的生产

六氟化钨图片

六氟化钨(WF6)是一种无机化合物,常温常压下为无色气体,主要应用在集成电路制造领域,具体来说,在化学气相沉积工艺中,通过沉积和堆叠制成大规模集成电路中的导电膜和金属配线材料。工业上常用固定床反应器使金属钨与氟气或N3F直接反应的方法来制备WF6,在实际操作中产物易夹带钨粉,很难进行连续生产且反应器效率低。为了解决上述的不足,专利号为CN101428858A的研究者提出了一种新的生产方法,具体步骤如下:

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什么是四溴化钨?

四溴化钨图片

溴化钨又称为钨溴化合物,是由过渡金属钨元素和非金属溴元素组成的一种无机物。根据溴原子个数的不同,它能分为很多种类,如二溴化钨、三溴化钨、四溴化钨、五溴化钨和六溴化钨,它们在物理化学性质、工艺参数和用途等方面上均存在一定区别。下面主要介绍的是四溴化钨的基本信息。

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如何生产五氯化钨?

中钨在线钨粉图片

五氯化钨(WCl5)是一种极为不稳定的无机化合物,主要体现在易氧化、易还原和易水解等,因而很难制备。当前,生产WCl5的方法有:一是还原剂还原六氯化钨,二是通过氯化四氯化钨制备WCl5。但是,第一种工艺容易发生过渡还原,第二种工艺容易发生过渡氧化,所以很难制备出高纯度的WCl5。为了克服现有工艺的不足,下面主要介绍的是专利文档序号为27433806的研究者一种新的生产及纯化方法,具体步骤如下:

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什么是三溴化钨?

三溴化钨图片

三溴化钨是由钨元素和溴元素组成的一种的过渡金属卤化物,是由1个钨原子与3溴原子组成的一种无机物,是一种黑色的晶体或粉末,英文名为Tungsten Tribromide,化学式为WBr3,分子量为423.6g/mol,CAS号为15163-24-3。

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什么是五溴化钨?

五溴化钨结构图

五溴化钨是过渡金属钨的一种高价溴化物,是由1个钨原子与5个溴原子组成的一种无机物,是一种棕黑色的晶体,以二聚体W2Br10的形式存在,英文名为Tungsten Pentabromide,化学式为WBr5,分子量为583.36g/mol,CAS号为13470-11-6。

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