氧化钨作为钨的一种中间氧化物不同于具有经典化学计量比结构的化合物，其组成偏离整比性并具有点缺陷的现象，在现代材料学与固体化学中的应用有着十分重要的地位，而非化学计量比化合物（化合物中化学成分与晶体结构中不同原子所占据的比例不相符合）又是以氧化钨为例的固体化学核心之一，直接决定着氧化钨的光、电、热、声、磁学性质。所以探究氧化钨非化学计量比结构的形成原理是十分有必要的。

氧化钨薄膜材料作为半导体氧化物因为其出色的电学、光学性质而在光催化材料、变色材料等多个领域内有着广泛的应用，如应用于化学或机械传感器、选择性催化、环境和工业废气的检测等。

在氧化钨薄膜中掺入如贵金属等其他元素或化合物，使氧化钨薄膜产生特定的电学、磁学和光学性能，从而使氧化钨薄膜具有在其他领域具有实际应用价值或特定用途的过程称为掺杂。对氧化钨薄膜进行贵金属掺杂改性是提高氧化钨薄膜变色性能的一种应用广泛的重要方法，而不同的贵金属掺杂元素或化合物对氧化钨薄膜造成的优化机理及作用效果也大相径庭。

氧化钨薄膜是一种具有优异的变色性能而在智能窗、平面显示器、气敏组件、太阳能电池与储能器等许多具有开发潜力的新领域中具有广阔的应用前景的薄膜形式氧化钨的新型功能材料。不同的氧化钨薄膜具有着不同的表面形貌结构，因此各类氧化钨薄膜在性能上有着些许差异。