促进铜包覆钨酸锆复合粉体的预处理方法
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- 分类:钨专利技术
- 发布于 2013年8月01日 星期四 16:09
- 作者:Elva
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本发明提供一种促进铜包覆钨酸锆复合粉体的预处理方法。具体步骤如下:
1)粗化:称取ZrW2O8粉体,用浓硝酸磁力搅拌同时加热约30~60min,清洗干燥;
2)一步敏化活化:对粗化后的粉体预处理,按每100ml 敏化活化液处理10gZrW2O8粉体,敏化活化30~50min后清洗干燥,每升敏化活化液的配制如下:0.3g~0.4gPdCl2;60mlHCl;30~40gSnCl2;140g~160gNaCl;
3)制备 镀液:按每升计,镀液组成如下:主盐硫酸铜(CuSO4.5H2O)15~42g;还原剂甲醛(HCHO)12~40ml;络合剂EDTA-2Na44~66g;稳定剂亚铁氰化钾20mg;2-2’联吡啶20mg;促溶解剂甲醇(CH3OH)100ml;用氢氧化钠(NaOH)调整到镀液至PH值为12~13;
4)称取2.5~10g/L的敏化活化过的ZrW2O8粉体添加到镀液中,经超声处理30~45min,ZrW2O8粉体表面就会镀覆一层铜。
本发明提供的方法,其工艺简单合理,包覆效果好,可以用作超大规模集成电路及电子器件基片材料。
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