切削工具的超细晶金刚石涂层的制备方法

本发明提供一种适用于切削工具的超细晶金刚石涂层的制备方法。具体步骤如下：

1）将切削工具基体装入沉积反应室内；

2）将沉积反应室抽成真空状态；

3）在沉积反应室内形成磁场；

4）向安装在沉积反应室内的阴极、阳极之间施加高电流直流电弧以及向沉积反应室内通入氩气Ａｒ、氢气Ｈ2和甲烷ＣＨ4三种气体；其中，施加的电弧电流为１５０Ａ～２５０Ａ；通入的甲烷ＣＨ4／氢气Ｈ2的比例为０．５～１０％；通入的氩气Ａｒ流量为２０００～４０００ｓｃｃｍ；

5）在沉积反应室中，气体ＣＨ4在电弧的作用下会产生碳Ｃ自由基，在一定的温度条件下碳Ｃ自由基沉积到切削工具基体表面转换成多晶金刚石薄膜；其中，沉积反应室内的温度为６００℃～１０００℃；工作压力为０．９ｍｂａｒ～２ｍｂａｒ；沉积时间为３～３０ｈ。

本发明通过控制沉积反应室内的温度（６００℃～１０００℃）、工作压力（０．９ｍｂａｒ～２ｍｂａｒ）、气体流量、沉积时间（３～３０ｈ）等工艺参数，从而控制金刚石晶粒生长，得到大约为０．３～１μｍ晶粒细小的金刚石涂层，从而使得涂有该金刚石涂层的切削工具性能更佳、加工寿命更长。

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