六氟化钨气体的纯化方法

本发明提供一种六氟化钨气体的纯化方法。步骤如下：

1）首先将粗品储罐内的不纯的六氟化钨气体通入内部装填有多孔球状的氟化钠或氟化钾填料的吸附塔的底部，在１０℃～８０℃下除去其中的绝大部分氟化氢杂质；

2）再经管道进入精馏塔中液化，液化５ｋｇ～５０ｋｇ后停止通入六氟化钨气体，在３℃～２０℃下，在六氟化钨液体的底部通入高纯氦气使液体保持沸腾，蒸发的气体进入精馏柱并上升，在上升的过程中逐渐冷凝回流，进一步精馏除去氮、氧、一氧化碳、二氧化碳、三氟化氮、四氟化碳、六氟化硫、四氟化硅、氟化氢杂质；

3）用气相色谱分析检测，当塔顶排除气体中各类沸点高于六氟化钨气体沸点的杂质浓度降低到要求指标时，停止通入高纯氦气，当氦气指标达到要求后，将高纯六氟化钨气体收集到精品储罐。

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