六氟化钨气体的制备方法

本发明提供一种六氟化钨气体的制备方法。步骤如下：

1）将氟气与高纯氮按1∶0.5~20重量比混合通入裂解器中，预热温度为10℃~100℃，压力为0~0.6MPa，时间为1min~20min；

2）进入反应器，反应器（10）内有5~15Kg原料钨，反应器中氟气与原料钨的反应温度为20℃~400℃，反应时间为1min~20min，所制备的WF₆气体由低温收集器在－70℃~0℃下液化收集；

3）通过抽真空去除其中的氟气、氮气和三氟化氮低沸点杂质，低温收集器中收集10Kg~50Kg的WF₆气体后，停止收集并升温到20℃~100℃将WF₆气体压入钢瓶保存，所述的裂解器、反应器和低温收集器之间通过管道相连。

本发明提供的六氟化钨气体的制备方法制备得到的六氟化钨气体纯度可达到99.5%以上。

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