纳米钨合金粉末制备技术（V）——化学气相沉积法

化学气相沉积法是以金属氯化物或羰基化合物为原料, 在气相中进行化学反应, 经还原、化合或分解沉积制取难熔金属化合物、各种金属复合粉末和涂层的方法。其特点是工艺过程可控制, 粉末纯度高。美国军方采用这种方法成功地将Ni、Fe沉积在W颗粒表面, 制备了纳米纳米钨合金粉末, 而且W粉上的Ni、Fe涂层厚度均匀, 粒度分布范围较窄。在此基础上发展的等离子体化学气相沉积技术也可用于制备纳米WC粉末。

最近MartinHMagnusson等人采用化学气相沉积法成功地制备了纳米W颗粒单晶, 该方法是以W(CO) 6 为原料, 在1000e 的温度下将其热分解: W( WO) 6vW+ 6CO, 形成气溶胶(aerosel) 的W颗粒。将W颗粒气溶胶通过一种带有超压光(ultraviolet) 的装置, 通过光电效应产生自由电子和带正电的充电颗粒, 然后采用电场粒度分析仪进行粒度分级等后续工艺。整个过程以纯N2作为气流载体。用这种方法制备的单晶粒度可控制在15~60nm之间, 而且纳米钨合金粉末经过1900e 高温烧结后仍然保持单晶结构。


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