与六氯化钨（WCl6）一样，六氟化钨也是由过渡金属钨元素和卤族元素组成的一种化合物，均具有良好的物理化学性质，广泛应用于化工领域。但是，二者在外观、性质、生产方法和具体用途上存在较大区别，例如，六氯化钨是一种带有蓝紫色的黑色结晶，而六氟化钨在常温常压下为淡黄色液体，其固态为易潮解的无色结晶，气态为无色。注：卤族元素是指周期表中的ⅦA族元素，包括氟、氯、溴、碘、砹等；其中氟位于第二周期VII族，比氯元素活泼，而氯位于第三周期VII族。

钨合金的化学成分除了有硬质相钨元素，粘结相镍、铁或铜元素之外，还有一定量的杂质元素，如碳、氢、氧、氮、磷和硫等元素，它们都会对钨合金的导电性造成一定的影响。下面主要介绍的是杂质元素对钨合金导电性的影响。

六氟化钨（Tungsten Hexafluoride，WF6）是由过渡金属钨元素和活泼非金属氟元素组成的一种无色气体，是用于微电子学生产过程中钨的化学蒸气沉积的一种气源，具有较大的密度、较强的腐蚀性和毒性等特点，主要应用于半导体工业的化学气相沉积工艺中，以沉积钨金属。然而，当前的生产技术却很难生产出高纯度WF6。

与仲钨酸铵（APT）和偏钨酸铵（AMT）一样，磷钨酸钠也是一种用途十分广泛的钨酸盐。更详细地说，磷钨酸钠是一种由钨酸钠和磷酸氢二钠共溶于水，加入浓盐酸后浓缩结晶而制得的一种无机化合物，是由钨、磷、氧和钠四种元素组成的一种纯度高达99%的白色粉末，英文名为Sodium Phospho tungstate或sodium Phospho wolframat，化学式Na3O40PW12，分子量2946，CAS号为51312-42-6，EINECS号为234-716-1。